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ULVACとSALのパートナーは、 大量の薄型リチウムを製造するための プラズマエチネーションを開発します。
ULVACとシリコンオーストリア研究所 (SAL)は、薄型リチウムニボネート(TFLN)を大量に製造するために、血漿のトリミングプロセスを開発するチームを結成した。
この 物質 は , 効率 が 高く , 損失 が 少ない ため , 高度 な 光学 装置 に とっ て 重要 です。
ULVAC の Plasma eting システムを使用するこのパートナーシップは,TFLNの統合と安定性を改善し,高等なデータ通信量に対する需要の増加に対処することを目的としている.
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ULVAC and SAL partner to develop plasma etching for large-scale thin-film lithium niobate manufacturing.